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PECVD制备非晶硅薄膜
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| 请教各位师兄，师姐一个工艺上的问题，制备出非晶硅薄膜后，薄膜出现了彩虹条，证明是膜的均匀性差的原因。我想问一下，有什么方法能改善这种问题？ |
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2楼2013-11-04 05:54:12