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wanjiuxiao

金虫 (正式写手)

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为什么电泳沉积的薄膜退一下火电阻会变大?
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19881112

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-18 12:05:05
退火后 结晶质量变好  缺陷减少  对于有些材料而言  缺陷利于导电   特别是在一些半导体材料中  很正常
立誓成功,蔑视之。
2楼2012-06-17 17:03:22
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xwzg

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wanjiuxiao: 金币+10 2012-07-19 08:57:32
我不认为楼上的回复。
第一:你退火的条件是什么?是否排除氧化导致的?
其二:如果薄膜比较薄,或者基片的应力较强。退火厚,金属薄膜会收缩,严重的会收缩为一个个的小球,不严重的则会导致薄膜厚度不均匀。

因此,建议你分析测试一下。
3楼2012-06-20 08:53:22
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