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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜的退火时间长短对薄膜影响大吗？
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xj170701059

新虫 (小有名气)

[求助] 薄膜的退火时间长短对薄膜影响大吗？

我分别做了5个薄膜PLD法，然后分别退火，温度相同550度，但是时间不同，有的20分钟，有的25分钟，有的40分钟，请问影响大吗？我本想让这5个样品退火时间一致的。请问现在还可以继续退火吗，好使它们的时间一致？
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1楼 2012-06-05 15:14:10
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
总的说来，退火能够使薄膜内的晶粒长大，应力释放。
但是20分钟与25分钟估计差别不会很明显。楼主可以做个XRD看看衍射峰形态，也可以用FESEM观察一下表面形貌。
如果是快速退火的话，20分与40分可能会有点区别。
如果lz退火后采用的是随炉冷却的话，有些炉子降温很慢，相当于延长了退火时间，如果是这样估计20,25,40分不会有明显区别。
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8楼2012-06-08 10:00:28
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-06 07:32:00
退火时间肯定对样品结晶，形貌有影响，一般退火时间延长，晶体生长较好。
我觉得只要你的样品没有进行其他处理，再次退火应该可以，不过还是有一些区别的。
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2楼2012-06-05 17:18:45
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ujn_cxd

捐助贵宾 (正式写手)
什么样品啊 有些材料退火之后是不能再次退火的，并且你应该知道为什么选择这个温度退火，一般而言退火时间长点是希望结晶更好，不知道你是什么样品没法回答
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3楼2012-06-05 18:25:04
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xj170701059

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ujn_cxd at 2012-06-05 18:25:04
什么样品啊 有些材料退火之后是不能再次退火的，并且你应该知道为什么选择这个温度退火，一般而言退火时间长点是希望结晶更好，不知道你是什么样品没法回答

TiO2掺杂薄膜
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4楼2012-06-05 18:52:56
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