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xj170701059

新虫 (小有名气)

[求助] 薄膜的退火时间长短对薄膜影响大吗?

我分别做了5个薄膜PLD法,然后分别退火,温度相同550度,但是时间不同,有的20分钟,有的25分钟,有的40分钟,请问影响大吗?我本想让这5个样品退火时间一致的。请问现在还可以继续退火吗,好使它们的时间一致?
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
总的说来,退火能够使薄膜内的晶粒长大,应力释放。
但是20分钟与25分钟估计差别不会很明显。楼主可以做个XRD看看衍射峰形态,也可以用FESEM观察一下表面形貌。
如果是快速退火的话,20分与40分可能会有点区别。
如果lz退火后采用的是随炉冷却的话,有些炉子降温很慢,相当于延长了退火时间,如果是这样估计20,25,40分不会有明显区别。
8楼2012-06-08 10:00:28
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-06 07:32:00
退火时间肯定对样品结晶,形貌有影响,一般退火时间延长,晶体生长较好。
我觉得只要你的样品没有进行其他处理,再次退火应该可以,不过还是有一些区别的。
2楼2012-06-05 17:18:45
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ujn_cxd

捐助贵宾 (正式写手)


什么样品啊 有些材料退火之后是不能再次退火的,并且你应该知道为什么选择这个温度退火,一般而言退火时间长点是希望结晶更好,不知道你是什么样品没法回答
3楼2012-06-05 18:25:04
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xj170701059

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ujn_cxd at 2012-06-05 18:25:04
什么样品啊 有些材料退火之后是不能再次退火的,并且你应该知道为什么选择这个温度退火,一般而言退火时间长点是希望结晶更好,不知道你是什么样品没法回答

TiO2掺杂薄膜
4楼2012-06-05 18:52:56
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