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薄膜的退火时间长短对薄膜影响大吗?
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xj170701059
新虫
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专业: 半导体材料
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薄膜的退火时间长短对薄膜影响大吗?
我分别做了5个薄膜PLD法,然后分别退火,温度相同550度,但是时间不同,有的20分钟,有的25分钟,有的40分钟,请问影响大吗?我本想让这5个样品退火时间一致的。请问现在还可以继续退火吗,好使它们的时间一致?
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1楼
2012-06-05 15:14:10
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nanodot
金虫
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
基本的影响差不多就是2楼说的那样,你要是接着退火的话,最好把目前退过火的样品做一个XRD,第二次退火完后再打一次XRD,两次对比一下是不是晶体结构上有变化。
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7楼
2012-06-06 08:48:15
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pcsmine
木虫
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专业: 无机非金属类光电信息与功
【答案】应助回帖
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感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流
2012-06-06 07:32:00
退火时间肯定对样品结晶,形貌有影响,一般退火时间延长,晶体生长较好。
我觉得只要你的样品没有进行其他处理,再次退火应该可以,不过还是有一些区别的。
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2楼
2012-06-05 17:18:45
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ujn_cxd
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性别: GG
专业: 半导体材料
什么样品啊 有些材料退火之后是不能再次退火的,并且你应该知道为什么选择这个温度退火,一般而言退火时间长点是希望结晶更好,不知道你是什么样品没法回答
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3楼
2012-06-05 18:25:04
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xj170701059
新虫
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虫号: 1632639
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专业: 半导体材料
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3楼
:
Originally posted by
ujn_cxd
at 2012-06-05 18:25:04
什么样品啊 有些材料退火之后是不能再次退火的,并且你应该知道为什么选择这个温度退火,一般而言退火时间长点是希望结晶更好,不知道你是什么样品没法回答
TiO2掺杂薄膜
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4楼
2012-06-05 18:52:56
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