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dlutwhx

金虫 (小有名气)

[求助] 论文中提到的光刻掩模板是4X的,纳米压印模板是1X的,这里的4X、1X指的的是什么呢?

论文中提到的光刻掩模板是4X的,纳米压印模板是1X的,请问这里的4X、1X指的的是什么呢?
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yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
应该是英寸的意思,4英寸等于100毫米
2楼2012-05-30 07:44:35
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dlutwhx

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yangguang53 at 2012-05-30 07:44:35
应该是英寸的意思,4英寸等于100毫米

可是纳米压印模板也有2、3、4英寸四种规格啊?
3楼2012-05-30 10:24:09
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yangguang53

金虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

恩,你说的有道理,我觉得应该是,我建议你问一下南京大学葛海雄老师,他们应该很明白
4楼2012-06-01 08:59:28
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jufayin

至尊木虫 (文坛精英)

应该与压印、光刻比例相关吧
大家一起共同进步
5楼2012-06-25 10:31:09
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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
dlutwhx: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-06-26 08:33:03
压印是1:1的复型技术, 如100纳米的结构,制作出100纳米的特征尺寸,即为1X;类推其他的4X
6楼2012-06-25 12:22:58
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dlutwhx

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by jufayin at 2012-06-25 10:31:09
应该与压印、光刻比例相关吧

嗯,现在知道是比例了
7楼2012-06-26 08:30:25
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dlutwhx

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by mmsabina at 2012-06-25 12:22:58
压印是1:1的复型技术, 如100纳米的结构,制作出100纳米的特征尺寸,即为1X;类推其他的4X

谢谢!
8楼2012-06-26 08:32:40
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