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dlutwhx

金虫 (小有名气)

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[求助] 论文中提到的光刻掩模板是4X的，纳米压印模板是1X的，这里的4X、1X指的的是什么呢？

论文中提到的光刻掩模板是4X的，纳米压印模板是1X的，请问这里的4X、1X指的的是什么呢？

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1楼 2012-05-29 21:23:46

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mmsabina

铁杆木虫 (正式写手)

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专业: 半导体微纳机电器件与系统

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
dlutwhx: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-06-26 08:33:03

压印是1:1的复型技术，如100纳米的结构，制作出100纳米的特征尺寸，即为1X；类推其他的4X

6楼2012-06-25 12:22:58

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