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步步高升步步

金虫 (正式写手)

[交流] 匀胶机的真空泵貌似不工作了? 已有4人参与

实验室的匀胶机的吸片功能失效了,真空泵开着听声音挺好的,不知道为什么?是不是泵被堵住了?
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步步高升步步

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 陪陪乐乐 at 2012-05-22 11:07:01:
真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完

我们的估计是完全堵塞了,现在是一点也吸不住,我把它拆了,真空泵是好的,就是那个匀胶机里的管道被堵住了,但是拆下来后把托片和那个电机转子连在一起的东西弄坏了,不知道这些匀胶机的配件可有卖的?
3楼2012-05-22 14:48:52
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陪陪乐乐

银虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
wbcui: 金币+1, 多谢帮忙,貌似很专业啊 2012-05-23 12:15:59
真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞
2楼2012-05-22 11:07:01
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guantou05

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
看看是不是哪里漏气了……
4楼2012-05-23 11:16:34
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victoryn

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主遇到这种情况莫慌,第一步确定真空泵是否正常,在真空泵开启的情况下拔掉连接光刻胶涂布机的塑料管,感觉是否有吸力。第二步检查光刻胶涂布机上面的真空管路开关是否打开。第三步拿掉光刻胶涂布机的Chuck,看表面是否光滑,背面是否有堵塞。最想不到的就是光刻胶渗漏到涂布机里面的真空管路造成气源堵塞。

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西安矽美微电子设备有限公司由几位微电子芯片设备业界从业经验丰富的人士发起创立,公司专注于微电子芯片设备的设计、制造和销售。自2011年成立以来,已先后为真明丽银雨、楼氏苏州、亚威朗光电、西安中为光电、苏州纳米所等知名企业设计制造生产设备。主要产品有清洗机、光刻胶涂布显影机和热台、HMDS预处理系统、金刚刀划片机、晶圆贴膜机、晶圆切割机等。
Website:http:www.semiway.com.cn
5楼2015-12-03 16:01:04
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