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匀胶机的真空泵貌似不工作了？ 已有4人参与
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| 实验室的匀胶机的吸片功能失效了，真空泵开着听声音挺好的，不知道为什么？是不是泵被堵住了？ |
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楼主遇到这种情况莫慌，第一步确定真空泵是否正常，在真空泵开启的情况下拔掉连接光刻胶涂布机的塑料管，感觉是否有吸力。第二步检查光刻胶涂布机上面的真空管路开关是否打开。第三步拿掉光刻胶涂布机的Chuck，看表面是否光滑，背面是否有堵塞。最想不到的就是光刻胶渗漏到涂布机里面的真空管路造成气源堵塞。 —————— 西安矽美微电子设备有限公司由几位微电子芯片设备业界从业经验丰富的人士发起创立，公司专注于微电子芯片设备的设计、制造和销售。自2011年成立以来，已先后为真明丽银雨、楼氏苏州、亚威朗光电、西安中为光电、苏州纳米所等知名企业设计制造生产设备。主要产品有清洗机、光刻胶涂布显影机和热台、HMDS预处理系统、金刚刀划片机、晶圆贴膜机、晶圆切割机等。 Website：http:www.semiway.com.cn |
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