24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
汕头大学海洋科学接受调剂
查看: 1222  |  回复: 11

xiaowei3771

银虫 (小有名气)

[求助] 薄膜

磁控溅射法制备薄膜:两靶共溅射,发现制备的薄膜组分不均匀,且薄膜表面出现空洞和鼓包,通过改变两靶材的功率,没有改善,请高人指点是怎么回事?
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

每天都有新收获
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 奖励下···· 2012-05-20 08:40:27
不均匀有很多可能
如衬底不平 还有挥光不均匀等
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-05-17 10:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:35
除了功率,还有气压,靶基距离,衬底温度等等因素。另外,你衬底是否清洗干净?
3楼2012-05-17 12:44:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:42
鼓泡与残余应力有关吧,成分不均匀是指截面方向不均匀还是平面内不均匀啊?两个靶之间有没有相互影响?
4楼2012-05-17 16:41:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

finetx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 2012-05-18 11:01:17
什么基体啊?清洗多久?建议降低偏压
三人行必有我师
5楼2012-05-18 10:03:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuquanyao

荣誉版主 (知名作家)

小背包

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:53
组分建设的效率也不一定一样,之间的晶格匹配,也有关系。
每个人都是一个能量源,要勇于向周围传递正能量!
6楼2012-05-19 13:15:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

做点后处理可以消除那些问题吗?
7楼2012-05-20 11:05:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小-四川

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

膜层组分不均匀,你可以尝试调整一下工件与两个靶材的相对位置
8楼2012-06-23 17:24:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caiyazhi

金虫 (小有名气)

成分不均匀跟两个靶的材质有关系(同等条件下),至于气泡和变形这个跟工艺有关系,再差别大的两种材质,镀膜都可以通过工艺调整达到缓冲应力的完美效果.(比如,梯度层等)
浮躁的社会更需要冷静
9楼2012-09-06 10:39:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

空洞和鼓包的出现主要是你基体处理的干净,或者是基体的材质不均匀,但主要以第一个原因为主。
10楼2012-09-07 10:22:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xiaowei3771 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 284求调剂 +18 让我上岸吧阿西 2026-04-09 18/900 2026-04-15 13:33 by 西北望—风沙
[考研] 297工科调剂? +14 河南农业大学-能 2026-04-13 15/750 2026-04-15 13:25 by 黑科技矿业
[考研] 290求调剂 +21 luoziheng 2026-04-10 23/1150 2026-04-14 15:49 by zs92450
[基金申请] RY:中国产出的科学垃圾论文,绝对数量和比例都世界第一 +6 zju2000 2026-04-14 17/850 2026-04-14 14:34 by jurkat.1640
[考研] 297求调剂 +23 ORCHID1 2026-04-10 26/1300 2026-04-14 13:52 by 陈皮皮
[考研] 一志愿哈工大 085600 277 12材科基求调剂 5+5 chenny174 2026-04-10 37/1850 2026-04-14 07:39 by Abskk
[考研] 339求调剂 +4 hanwudada 2026-04-12 4/200 2026-04-13 12:03 by 蓝云思雨
[考研] 314求调剂 +24 wakeluofu 2026-04-09 25/1250 2026-04-13 08:58 by lhj2009
[考研] +10 李多米lee. 2026-04-12 11/550 2026-04-12 22:58 by yuyin1233
[考研] 22408 352分求调剂 +5 努力的夏末 2026-04-09 5/250 2026-04-12 19:17 by wj165256
[考研] 291求调剂 +11 关忆北. 2026-04-09 12/600 2026-04-12 10:32 by 逆水乘风
[考研] 一志愿厦大0856,306求调剂 +15 Bblinging 2026-04-11 15/750 2026-04-11 22:53 by 314126402
[考研] 303求调剂 +14 SereinQ 2026-04-10 15/750 2026-04-11 20:43 by 蓝云思雨
[考研] 337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 08:57 by zhq0425
[考研] 346,工科0854求调剂,专硕 +7 moser233 2026-04-10 8/400 2026-04-11 08:52 by 猪会飞
[考研] 江苏大学 工科调剂 捡漏 +3 Evan_Liu 2026-04-09 5/250 2026-04-10 10:22 by Evan_Liu
[考研] 085601初试330分找调剂 +10 流心奶黄包l 2026-04-09 10/500 2026-04-10 08:14 by Sammy2
[考研] 材料化工总分334求调剂 +16 Riot2025 2026-04-08 17/850 2026-04-09 20:19 by maddjdld
[考研] 086004 求调剂 309 +7 Yin DY 2026-04-08 7/350 2026-04-09 13:59 by Delta2012
[考研] 334求调剂 +16 Riot2025 2026-04-08 17/850 2026-04-09 09:28 by wdyheheeh
信息提示
请填处理意见