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xiaowei3771

银虫 (小有名气)

[求助] 薄膜

磁控溅射法制备薄膜:两靶共溅射,发现制备的薄膜组分不均匀,且薄膜表面出现空洞和鼓包,通过改变两靶材的功率,没有改善,请高人指点是怎么回事?
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

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蒋青松: 金币+1, 奖励下···· 2012-05-20 08:40:27
不均匀有很多可能
如衬底不平 还有挥光不均匀等
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-05-17 10:36:22
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

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感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:35
除了功率,还有气压,靶基距离,衬底温度等等因素。另外,你衬底是否清洗干净?
3楼2012-05-17 12:44:06
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:42
鼓泡与残余应力有关吧,成分不均匀是指截面方向不均匀还是平面内不均匀啊?两个靶之间有没有相互影响?
4楼2012-05-17 16:41:28
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finetx

铜虫 (小有名气)

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qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 2012-05-18 11:01:17
什么基体啊?清洗多久?建议降低偏压
三人行必有我师
5楼2012-05-18 10:03:56
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yuquanyao

荣誉版主 (知名作家)

小背包

优秀版主优秀版主

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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:53
组分建设的效率也不一定一样,之间的晶格匹配,也有关系。
每个人都是一个能量源,要勇于向周围传递正能量!
6楼2012-05-19 13:15:19
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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

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做点后处理可以消除那些问题吗?
7楼2012-05-20 11:05:07
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小-四川

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

膜层组分不均匀,你可以尝试调整一下工件与两个靶材的相对位置
8楼2012-06-23 17:24:24
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caiyazhi

金虫 (小有名气)

成分不均匀跟两个靶的材质有关系(同等条件下),至于气泡和变形这个跟工艺有关系,再差别大的两种材质,镀膜都可以通过工艺调整达到缓冲应力的完美效果.(比如,梯度层等)
浮躁的社会更需要冷静
9楼2012-09-06 10:39:26
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

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空洞和鼓包的出现主要是你基体处理的干净,或者是基体的材质不均匀,但主要以第一个原因为主。
10楼2012-09-07 10:22:46
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