24小时热门版块排行榜    

查看: 1447  |  回复: 11

xiaowei3771

银虫 (小有名气)

[求助] 薄膜

磁控溅射法制备薄膜:两靶共溅射,发现制备的薄膜组分不均匀,且薄膜表面出现空洞和鼓包,通过改变两靶材的功率,没有改善,请高人指点是怎么回事?
回复此楼
每天都有新收获
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 奖励下···· 2012-05-20 08:40:27
不均匀有很多可能
如衬底不平 还有挥光不均匀等
http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-05-17 10:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:35
除了功率,还有气压,靶基距离,衬底温度等等因素。另外,你衬底是否清洗干净?
3楼2012-05-17 12:44:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:42
鼓泡与残余应力有关吧,成分不均匀是指截面方向不均匀还是平面内不均匀啊?两个靶之间有没有相互影响?
4楼2012-05-17 16:41:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

finetx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 2012-05-18 11:01:17
什么基体啊?清洗多久?建议降低偏压
三人行必有我师
5楼2012-05-18 10:03:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuquanyao

荣誉版主 (知名作家)

小背包

优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:53
组分建设的效率也不一定一样,之间的晶格匹配,也有关系。
每个人都是一个能量源,要勇于向周围传递正能量!
6楼2012-05-19 13:15:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

做点后处理可以消除那些问题吗?
7楼2012-05-20 11:05:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小-四川

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

膜层组分不均匀,你可以尝试调整一下工件与两个靶材的相对位置
8楼2012-06-23 17:24:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caiyazhi

金虫 (小有名气)

成分不均匀跟两个靶的材质有关系(同等条件下),至于气泡和变形这个跟工艺有关系,再差别大的两种材质,镀膜都可以通过工艺调整达到缓冲应力的完美效果.(比如,梯度层等)
浮躁的社会更需要冷静
9楼2012-09-06 10:39:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

anyupenglilin

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

空洞和鼓包的出现主要是你基体处理的干净,或者是基体的材质不均匀,但主要以第一个原因为主。
10楼2012-09-07 10:22:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xiaowei3771 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 5/250 2026-11-10 09:23 by 1yv6QACPoY1E
[公派出国] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 3/150 2026-11-10 01:40 by FChKX8meu1ds
[考博] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 4/200 2026-11-10 01:29 by FChKX8meu1ds
[考博] 27博士申请 +3 白白白ly 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:39 by szq0819
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[考研] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 15/750 2026-11-09 13:19 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 12/600 2026-11-09 06:32 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 12/600 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 9/450 2026-11-06 02:02 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
请填处理意见