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xiaowei3771

银虫 (小有名气)

[求助] 薄膜

磁控溅射法制备薄膜：两靶共溅射，发现制备的薄膜组分不均匀，且薄膜表面出现空洞和鼓包，通过改变两靶材的功率，没有改善，请高人指点是怎么回事？
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每天都有新收获
1楼 2012-05-17 10:17:11
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:35
除了功率，还有气压，靶基距离，衬底温度等等因素。另外，你衬底是否清洗干净？
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3楼2012-05-17 12:44:06
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 奖励下···· 2012-05-20 08:40:27
不均匀有很多可能
如衬底不平 还有挥光不均匀等
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-05-17 10:36:22
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-20 08:40:42
鼓泡与残余应力有关吧，成分不均匀是指截面方向不均匀还是平面内不均匀啊？两个靶之间有没有相互影响？
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4楼2012-05-17 16:41:28
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finetx

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: 金币+1, 鼓励新虫积极回贴 2012-05-18 11:01:17
什么基体啊？清洗多久？建议降低偏压
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三人行必有我师
5楼2012-05-18 10:03:56
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