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xiaowei3771银虫 (小有名气)
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[求助]
薄膜
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| 磁控溅射法制备薄膜:两靶共溅射,发现制备的薄膜组分不均匀,且薄膜表面出现空洞和鼓包,通过改变两靶材的功率,没有改善,请高人指点是怎么回事? |
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磁控溅射靶材资料大全 |
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7楼2012-05-20 11:05:07
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2楼2012-05-17 10:36:22
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3楼2012-05-17 12:44:06
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