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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

组分不均匀与两靶的溅射功率直接相关，需要摸索调整。
有孔洞、鼓泡等缺陷与溅射速率、溅射气压、靶机具、基体清洁度、膜内残余应力等相关。
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11楼2012-09-14 17:06:00
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玉面小飞龙

木虫 (著名写手)
基材等离子处理干净没？不干净的话可能出现你所说的情况
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12楼2013-12-05 15:44:10
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