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hongju1007

新虫 (初入文坛)

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[求助] ITO蚀刻液的问题

用盐酸、硝酸和水混合的蚀刻液蚀刻ITO膜的化学方程式是什么？ITO膜中的SnO2能不能被溶解？溶解后是几价的？查了好多资料说SnO2不溶于酸，是不是就是说蚀刻的时候锡没有进入蚀刻液，还是有一部分锡进入蚀刻液中，进入蚀刻液的这部分锡是几价的？各位大神急用啊，帮帮忙！谢谢~！

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1楼 2012-05-15 16:24:47

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kebaokeji

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自已搞污染太严重，气味太大，产生黄烟二氧化氮（酸分解产生的）易中毒，节省不了成本，而且强酸对设备腐蚀损耗维修成本很大。其实商用的环保型ITO蚀刻液市场上早就有了，无味无烟无酸，没必要冒险用高腐蚀性且易产生有毒气体的原料。我们就是用深圳一家司KBX-618环保ITO型蚀刻液，无气味，速度稳定，原料成本消耗也很少，一个月才几百公斤搞定。