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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 实验技术 » ITO蚀刻液的问题
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hongju1007

新虫 (初入文坛)

[求助] ITO蚀刻液的问题

用盐酸、硝酸和水混合的蚀刻液蚀刻ITO膜的化学方程式是什么？ITO膜中的SnO2能不能被溶解？溶解后是几价的？查了好多资料说SnO2不溶于酸，是不是就是说蚀刻的时候锡没有进入蚀刻液，还是有一部分锡进入蚀刻液中，进入蚀刻液的这部分锡是几价的？各位大神急用啊，帮帮忙！谢谢~！
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1楼 2012-05-15 16:24:47
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yanglusuda

金虫 (小有名气)
你好，我是新手，请问这个问题你弄清楚了吗？
还有如果用盐酸溶液蚀刻ITO，反应方程式是什么？是一般的中和反应还是氧化还原反应？非常感谢！
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云里雾里的日子
3楼2015-03-25 22:15:27
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