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ITO蚀刻液的问题
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| 用盐酸、硝酸和水混合的蚀刻液蚀刻ITO膜的化学方程式是什么?ITO膜中的SnO2能不能被溶解?溶解后是几价的?查了好多资料说SnO2不溶于酸,是不是就是说蚀刻的时候锡没有进入蚀刻液,还是有一部分锡进入蚀刻液中,进入蚀刻液的这部分锡是几价的?各位大神急用啊,帮帮忙!谢谢~! |
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