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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射&离子溅射
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xingmeig

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射&离子溅射

各位前辈好！
我想在我的碳基体上溅射一层铂，本来想用磁控溅射，但是学校的设备要排队，偶然间发现学校的扫描电镜室的喷金设备也可以喷铂，他们有铂靶。查了一下那个设备是小型离子溅射仪。不知道用这种离子溅射上去的铂和磁控溅射的铂有什么不同吗？比如和基体的结合力啥的。
如果没啥区别的话我以后就用离子溅射也可以吗？

由于是新虫，只有两个半金币，都悬赏了哈～不要嫌弃呀
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1楼 2012-05-08 19:11:31
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huangjiangta

银虫 (小有名气)
SEM好像一般都是合金啊  不是纯的把？如果你是研究薄膜特性，个人觉得这样肯定不行的，、sem、那个镀膜比较单一，但是其他镀膜工艺比较复杂，薄膜估计差别很大？
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12楼2012-05-15 16:46:40
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qiqiqiqi

至尊木虫 (知名作家)

小木虫发型设计师

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xingmeig: 金币+1, ★有帮助, 强烈欢迎继续指导，小白在这里先谢谢啦 2012-05-08 19:48:34
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-09 12:47:48
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质，楼主不必大仪小用
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http://edu.emuch.net/attachment/b0/a6/664055_1294967861_445.gif
2楼2012-05-08 19:34:19
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xingmeig

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-05-08 19:34:19:
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质，楼主不必大仪小用

我镀铂不是看电镜的，是想用小型离子溅射仪代替磁控溅射来溅射铂，不知道可不可以。
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3楼2012-05-08 19:45:21
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xingmeig

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qiqiqiqi at 2012-05-08 19:34:19:
如果是扫描电镜的话 用小型离子溅射仪就可以
磁控溅射一般是做具体研究镀膜的性质，楼主不必大仪小用

其实我就是研究镀膜的性质呢。可不可以用离子溅射来研究啊？应该是“小材大用”？呵呵
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4楼2012-05-08 19:46:59
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