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xiaoxihjl

铜虫 (初入文坛)

[求助] 金属表层元素分析

各位大虾:我的样品大约120个微米，想研究下表层深度元素分析（5~6um左右），用什么检测仪器可以做呢？谢谢！
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1楼 2012-05-08 11:39:07
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小虫虫9812

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
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engle028: 金币+1, 感谢交流 2012-05-09 19:12:07
可是试试XPS，是专门做表面元素分析的，精度也比较高，但样品元素含量太少的话，对精度有一定影响。表面剥离2个原子层左右。具体你可以联系厂家，仔细问问情况，看能不能满足你的要求。不过做一个样品的费用比较高，4000左右。
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6楼2012-05-09 18:27:02
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芊芊5953

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
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yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:56:51
扫描电镜+能谱应该可以
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2楼2012-05-08 11:48:37
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aruoo

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:57:02
SIMS或者AES可以做空沿深度方向上的分布
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3楼2012-05-08 13:57:24
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菲戈1986

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:57:13
EDS面扫描就应该可以了吧
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4楼2012-05-08 14:41:16
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