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xiaoxihjl

铜虫 (初入文坛)

[求助] 金属表层元素分析

各位大虾:我的样品大约120个微米,想研究下表层深度元素分析(5~6um左右),用什么检测仪器可以做呢?谢谢!
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芊芊5953

木虫 (正式写手)

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yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:56:51
扫描电镜+能谱应该可以
2楼2012-05-08 11:48:37
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aruoo

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:57:02
SIMS或者AES可以做空沿深度方向上的分布
3楼2012-05-08 13:57:24
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菲戈1986

至尊木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:57:13
EDS面扫描就应该可以了吧
4楼2012-05-08 14:41:16
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xiaoxihjl

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by aruoo at 2012-05-08 13:57:24:
SIMS或者AES可以做空沿深度方向上的分布

有一个问题是,深度剖析的话,对于你说的检测方法来说,120um的样品检测时是不是可以人为设定需要打到的深度?
5楼2012-05-09 14:29:08
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小虫虫9812

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


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engle028: 金币+1, 感谢交流 2012-05-09 19:12:07
可是试试XPS,是专门做表面元素分析的,精度也比较高,但样品元素含量太少的话,对精度有一定影响。表面剥离2个原子层左右。具体你可以联系厂家,仔细问问情况,看能不能满足你的要求。不过做一个样品的费用比较高,4000左右。
6楼2012-05-09 18:27:02
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简单爱-MU

木虫 (小有名气)

七尺男儿 一介书生

【答案】应助回帖


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qlf_126: 金币+1, 感谢参与! 2012-05-11 10:17:23
对于微纳米级的粉体来说,而且要求比较高精度,用EDS能谱的确不太适合;
XPS可以考虑,制样的问题要注意,不过我们这XPS没有6楼说的那么贵,同样是微纳米级的粉体,我们去南大做的,一个样是300.
君子之行,如日月之食:过也,人皆见之;更也,人皆仰之。
7楼2012-05-11 10:09:09
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leeyl

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-11 13:43:10
如果有的话,俄歇能谱是最好的
道法自然
8楼2012-05-11 13:20:43
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bobosgabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-13 13:07:22
XPS和AES都可以的,且收费也不是太贵的!AES的分析深度变化的规律比较准确!建议使用
9楼2012-05-13 10:36:47
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