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xiaoxihjl

铜虫 (初入文坛)

[求助] 金属表层元素分析

各位大虾:我的样品大约120个微米，想研究下表层深度元素分析（5~6um左右），用什么检测仪器可以做呢？谢谢！
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1楼 2012-05-08 11:39:07
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芊芊5953

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
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yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:56:51
扫描电镜+能谱应该可以
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2楼2012-05-08 11:48:37
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aruoo

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:57:02
SIMS或者AES可以做空沿深度方向上的分布
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3楼2012-05-08 13:57:24
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菲戈1986

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
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yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-08 15:57:13
EDS面扫描就应该可以了吧
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4楼2012-05-08 14:41:16
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xiaoxihjl

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by aruoo at 2012-05-08 13:57:24:
SIMS或者AES可以做空沿深度方向上的分布

有一个问题是，深度剖析的话，对于你说的检测方法来说，120um的样品检测时是不是可以人为设定需要打到的深度？
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5楼2012-05-09 14:29:08
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小虫虫9812

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
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engle028: 金币+1, 感谢交流 2012-05-09 19:12:07
可是试试XPS，是专门做表面元素分析的，精度也比较高，但样品元素含量太少的话，对精度有一定影响。表面剥离2个原子层左右。具体你可以联系厂家，仔细问问情况，看能不能满足你的要求。不过做一个样品的费用比较高，4000左右。
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6楼2012-05-09 18:27:02
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简单爱-MU

木虫 (小有名气)

七尺男儿 一介书生

【答案】应助回帖

★
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qlf_126: 金币+1, 感谢参与！ 2012-05-11 10:17:23
对于微纳米级的粉体来说，而且要求比较高精度，用EDS能谱的确不太适合；
XPS可以考虑，制样的问题要注意，不过我们这XPS没有6楼说的那么贵，同样是微纳米级的粉体，我们去南大做的，一个样是300.
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君子之行，如日月之食：过也，人皆见之；更也，人皆仰之。
7楼2012-05-11 10:09:09
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leeyl

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-11 13:43:10
如果有的话，俄歇能谱是最好的
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道法自然
8楼2012-05-11 13:20:43
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bobosgabc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流 2012-05-13 13:07:22
XPS和AES都可以的，且收费也不是太贵的！AES的分析深度变化的规律比较准确！建议使用
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9楼2012-05-13 10:36:47
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