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sanmoyihen

木虫 (小有名气)

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[求助] 请问用原理子显微镜可以测多厚范围的纳米薄膜？准确度怎么样？

如题，想测100nm左右薄膜厚度，但是没有台阶仪，椭偏仪等仪器，不知道AFM测膜厚的原理和测量范围是多少？

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上帝欲令其死亡必先令其疯狂

1楼 2012-04-19 15:26:15

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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)

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【答案】应助回帖

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sanmoyihen: 金币+2, ★★★很有帮助, O(∩_∩)O谢谢 2012-04-20 09:12:27

1000nm以下应该没有问题吧，我之侧过300多nm的。。。

2楼2012-04-19 16:56:04

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sanmoyihen

木虫 (小有名气)

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O(∩_∩)O谢谢

上帝欲令其死亡必先令其疯狂

3楼2012-04-20 09:12:12

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