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sanmoyihen

木虫 (小有名气)

[求助] 请问用原理子显微镜可以测多厚范围的纳米薄膜?准确度怎么样?

如题,想测100nm左右薄膜厚度,但是没有台阶仪,椭偏仪等仪器,不知道AFM测膜厚的原理和测量范围是多少?
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
sanmoyihen: 金币+2, ★★★很有帮助, O(∩_∩)O谢谢 2012-04-20 09:12:27
1000nm以下应该没有问题吧,我之侧过300多nm的。。。
2楼2012-04-19 16:56:04
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sanmoyihen

木虫 (小有名气)

O(∩_∩)O谢谢
上帝欲令其死亡必先令其疯狂
3楼2012-04-20 09:12:12
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