【答案】应助回帖

10楼: Originally posted by super_zu at 2012-05-02 01:33:57:
你可以这样解决，断开源与系统，precursor pulse 设为0s，高温bake chamber，加热precursor delivery line，做500cycles。这样应该可以解决了。

12楼: Originally posted by yzdelei at 2012-05-02 08:41:01:
你是说腔体和管路内部不干净吗？我觉得会不会是 precursor 和 H2O 的比例出现了问题？或者是气体进入腔体内部时没有混合均匀？

2楼: Originally posted by ensureald at 2012-04-26 09:42:40
白色粉末的出现，说明你的试验没有实现ALD生长
一种原因是发生了CVD效应，也有可能是你的沉积温度过高，前趋体分解了吧！不清楚你用的是哪家的设备，有些设备沉积也略有区别，我们完全可以实现HfO2的沉积，有问题可 ...