求助ALD生长HfO2出现的问题 - 微米和纳米 - 微纳加工

版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

论文辅导

申博辅导

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

匿名

用户注销 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 929.1
帖子: 116
在线: 160.6小时
虫号: 0
注册: 2011-09-16
专业: 金属材料表面科学与工程

本帖仅楼主可见

» 猜你喜欢

金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有227人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

薄膜的生长问题已经有21人回复
苯甲醛里有二氧化硫会变色吗？已经有5人回复
化学浴法制备的无定型态CdS薄膜的紫外-可见光透射及吸光谱已经有33人回复
OPV旋膜后热处理用的电热板的问题已经有5人回复
【交流】成功生长出掺Ce：YAG单晶有人能帮我查一下掺Ce：YAG的分凝系数吗，测比较麻� 已经有6人回复

1楼2012-04-11 18:02:27

已阅同方向广播申请MN-EPI 回复此楼编辑查看我的主页

568977122

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 7313.1
散金: 238
红花: 5
帖子: 1087
在线: 1052.9小时
虫号: 1848638
注册: 2012-06-05
性别: GG
专业: 半导体材料

引用回帖:

2楼: Originally posted by ensureald at 2012-04-26 09:42:40
白色粉末的出现，说明你的试验没有实现ALD生长
一种原因是发生了CVD效应，也有可能是你的沉积温度过高，前趋体分解了吧！不清楚你用的是哪家的设备，有些设备沉积也略有区别，我们完全可以实现HfO2的沉积，有问题可 ...

您好，我最近在用溅射做氧化铪，但是漏电流太大，您最近还在用ALD做氧化铪吗，？

发自小木虫Android客户端

赞一下

回复此楼

VENIVIDIVICI！！！

14楼2018-10-10 23:40:14

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 yzdelei 的主题更新

返回列表