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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 真空蒸镀有机薄膜 影响因素
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yzc0330

木虫 (小有名气)

[求助] 真空蒸镀有机薄膜 影响因素

真空蒸镀有机薄膜时的影响因素有哪些？说明这些影响因素会对有机薄膜的形貌产生哪些影响？
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1楼 2012-04-09 11:27:31
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sdusunli

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by berylmin at 2012-04-09 13:12:24
1、真空度影响（高真空啊~~）；
2、蒸发速率，看材料决定，一般的有机物速率差不多，电极可以快点，某些特殊的东东要很慢，不然做出来的膜不够均匀的，效果很差；
3、冷却时间也要注意的，比如电极蒸发时温度很高 ...

求问一下 亲 你们用的蒸镀仪器一般是什么呢？我之前搞半导体的 现在需要蒸一个有机化合物 所以不是很了解
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7楼2015-04-21 17:22:16
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zhuxg1234

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-09 13:17:23
yzc0330: 金币+3 2012-04-09 13:37:39
首先，蒸渡是确保真空度较低，一般小于5*10-4Pa开蒸，
其次，对膜的形貌有很大影响的是蒸发速率，一般1A/s
有的时候，跟材料本身的性能（Tg）有关，
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既然选择了远方，留给世界的只能是背影
2楼2012-04-09 12:54:44
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berylmin

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-09 13:17:28
yzc0330: 金币+2 2012-04-09 13:37:50
本帖内容被屏蔽
3楼2012-04-09 13:12:24
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Fateam

木虫 (小有名气)
我们组做这个的，简单说一下。
1、真空度，一般在10-4这个量级。
2、蒸发速率，不同材料有很大区别，含糊的说就是成膜的性质好坏。
3、另外和基底的性质，材料的性质两方面有关。基底的性质，最简单的一点，亲水疏水，或者说表面能，还有基底的粗糙度，以及基底是什么材料，还有基底的温度。这个在经典材料并五苯上特别明显，基底加热条件下蒸镀，性质较好。材料么，这就要看具体是什么材料了。
总结一下，能改的条件都试试，慢慢来。
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tingsunting
4楼2012-04-09 21:06:03
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