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6plusone

银虫 (初入文坛)

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专业: 半导体电子器件

[求助] CTLM 法测半导体衬底片电阻

关于Transmission line method 测得片电阻和供应商提供的差别很大是什么问题？
有没有可能这个测得片电阻是金属电极和半导体衬底本身一起算的效果吗，但是没有经过合金化的电极，电阻率应该很小才对。

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1楼 2012-04-08 23:11:22

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喵123456

新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

光刻胶在金属底下，如何刻掉呢？

发自小木虫Android客户端

3楼2016-07-04 11:11:56

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喵123456

新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

你好，请问你的图形是怎么做的呢？

发自小木虫Android客户端

2楼2016-07-04 11:11:33

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