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CTLM 法测半导体衬底片电阻
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关于Transmission line method 测得片电阻和供应商提供的差别很大是什么问题？ 有没有可能这个测得片电阻是金属电极和半导体衬底本身一起算的效果吗，但是没有经过合金化的电极，电阻率应该很小才对。 |
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