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fulan2012

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助:Ta2O5薄膜的刻蚀方法。

如题所示,想知道Ta2O5薄膜的刻蚀方法。最好有湿法刻蚀方法,不然ICP可以刻蚀么?
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huihuijing6303

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
ICP、IBE都可以刻蚀,只是刻蚀的线条超过1um比较容易保证形貌,低于1um比较难。。。。。。。。。。。。
2楼2012-04-28 18:31:56
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