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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 请教XPS探测深度
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guwei2892091

金虫 (小有名气)

[求助] 请教XPS探测深度 已有2人参与

XPS用的是软射线，用来检测物质浅层表面，据说只可以检测几个纳米
想问，有没有什么文献讲过，XPS能检测多深，多少纳米厚的时候XPS信号就检测不到了？
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1楼 2012-03-23 00:19:30
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super_zu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
7-10nm。zzzzzzvvvvvvvbhhhgffdddfghbbbbggfdds不算简单回复了吧
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9楼2012-05-01 15:15:31
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tianya8i

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
guwei2892091: 金币+1, ★有帮助 2012-03-23 20:55:52
4-5nm做多  如果需要深的话 可利用溅射技术剥层
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2楼2012-03-23 07:57:33
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
guwei2892091: 金币+1, ★有帮助 2012-03-23 20:56:01
几个纳米，不过辅以氩离子刻蚀就可以做深度剖析了。
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麦麦爸爸爱小牛
3楼2012-03-23 10:49:18
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
guwei2892091: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-23 20:56:12
受制于电子逃逸深度，一般只有2纳米左右
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guwei2892091
4楼2012-03-23 11:31:28
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