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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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guwei2892091

金虫 (小有名气)

[求助] 请教XPS探测深度 已有2人参与

XPS用的是软射线，用来检测物质浅层表面，据说只可以检测几个纳米
想问，有没有什么文献讲过，XPS能检测多深，多少纳米厚的时候XPS信号就检测不到了？
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1楼 2012-03-23 00:19:30
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
guwei2892091: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-24 09:57:23
引用回帖:
5楼: Originally posted by guwei2892091 at 2012-03-23 20:56:31:
有相关的文献吗？

Surface Analysis –The Principal Techniques 2nd Edition去网上搜电子版的。XPS检测逃逸出表面的电子，逃逸过程中不能有太大的能量损失，没有损失的这段距离叫IMFP电子平均自由程，和X光能量有一个关系，镁靶和铝靶的X光能量在1000多eV，对应的IMFP大约2纳米左右（大概值，跟很多因素有关系），UPS的能量在几十eV，IMFP更低，所以UPS更surface sensitive一些
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6楼2012-03-23 21:30:45
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tianya8i

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
guwei2892091: 金币+1, ★有帮助 2012-03-23 20:55:52
4-5nm做多  如果需要深的话 可利用溅射技术剥层
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2楼2012-03-23 07:57:33
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
guwei2892091: 金币+1, ★有帮助 2012-03-23 20:56:01
几个纳米，不过辅以氩离子刻蚀就可以做深度剖析了。
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麦麦爸爸爱小牛
3楼2012-03-23 10:49:18
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鹰羽龙

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
guwei2892091: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-23 20:56:12
受制于电子逃逸深度，一般只有2纳米左右
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guwei2892091
4楼2012-03-23 11:31:28
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查看全部 16 个回答
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