| 查看: 3925 | 回复: 13 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重已有1人参与
|
||
|
开启磁控溅射直流电源时，左侧电压表显示为负值。设备使用初期电流密度约为-40A\m2左右，调节功率旋钮，可以增加到60并维持稳定工作。但近期开机后始终在-100左右跳动，很难引弧。而且操作过程中电压数值很高，约为450以上，持续5分钟左右就会自动灭弧。拆开设备后，靶材表面刻蚀严重。 （开机时）（无法引弧时）（靶材刻蚀严重） 昨天重新拆开靶材进行了检查和清理，并用万用表排除了靶材和外壳短路的可能性。 我个人判断可能是直流电源的元部件出了故障，请问应当如何维修？ 另外，设备上一处接线我不是很明白： 如上图所示，左侧红框内的是控制靶材升降机构的，但是右侧红框内的接线的作用不清楚。是接地的吗？ 如上图所示，接线分别是从靶材和升降电机的两个螺钉引脚处接出来的。 |
回复此楼» 猜你喜欢
硅溶胶和硅酸钠水玻璃干燥后的结构为什么出现明显差异？
已经有6人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有136人回复
king小草
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 394.6
- 散金: 406
- 帖子: 89
- 在线: 20.7小时
- 虫号: 3345376
- 注册: 2014-07-30
- 专业: 计算机应用技术
14楼2024-11-04 16:25:50
2楼2012-03-19 09:57:53
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- MEPI: 1
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
3楼2012-03-19 14:38:10
4楼2012-03-19 21:15:51