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直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重已有1人参与
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开启磁控溅射直流电源时，左侧电压表显示为负值。设备使用初期电流密度约为-40A\m2左右，调节功率旋钮，可以增加到60并维持稳定工作。但近期开机后始终在-100左右跳动，很难引弧。而且操作过程中电压数值很高，约为450以上，持续5分钟左右就会自动灭弧。拆开设备后，靶材表面刻蚀严重。 （开机时）（无法引弧时）（靶材刻蚀严重） 昨天重新拆开靶材进行了检查和清理，并用万用表排除了靶材和外壳短路的可能性。 我个人判断可能是直流电源的元部件出了故障，请问应当如何维修？ 另外，设备上一处接线我不是很明白： 如上图所示，左侧红框内的是控制靶材升降机构的，但是右侧红框内的接线的作用不清楚。是接地的吗？ 如上图所示，接线分别是从靶材和升降电机的两个螺钉引脚处接出来的。 |
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