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求助最小线宽6um，最小间隔2um，用什么工艺比较好？ 已有4人参与
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| 需要做um结构阵列，最小线宽6um，最小间隔2um，一般用什么工艺比较好？光刻还是电子束曝光？都需要掩膜板吗，掩膜板怎么做？花费怎么样？求各路大神解答 |
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5楼2014-01-26 14:01:18
songsongsong443
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 14 (小学生)
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2楼2012-03-16 13:48:45
fyl1989
金虫 (正式写手)
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3楼2013-12-19 09:55:18
我的芝麻
木虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2013-12-24 16:34:49
30