24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 1422  |  回复: 4

resumer

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助最小线宽6um,最小间隔2um,用什么工艺比较好? 已有4人参与

需要做um结构阵列,最小线宽6um,最小间隔2um,一般用什么工艺比较好?光刻还是电子束曝光?都需要掩膜板吗,掩膜板怎么做?花费怎么样?求各路大神解答
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songsongsong443

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
光刻,需要掩模版。你的分辨率要求不高,不需要电子束曝光。
候补中年人
2楼2012-03-16 13:48:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fyl1989

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
直接光刻就行,如果你需要的只是在小片子上做图形(<2 inch),只用做一个2 inch的光刻掩膜版就行,价钱的话大概也就500左右,中科院微电子所就能做。
3楼2013-12-19 09:55:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我的芝麻

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
光刻工艺用普通紫外光刻就行(分辨率1um),无需电子束曝光,需制作光刻板(南京中电55所,800—1200元一块,画好结构版图给人发过去就行)
用心做好一件事
4楼2013-12-24 16:34:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ping10nkc

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
首先一定是光刻。
掩模板是可以实现的,
但现在也不是必须的,直写就可以了。
5楼2014-01-26 14:01:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 resumer 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085600,材料与化工321分求调剂 +10 大馋小子 2026-03-28 10/500 2026-03-29 23:35 by 飞行日记西
[考研] 一志愿南开大学0710生物学359求调剂 +3 兔兔兔111223314 2026-03-29 3/150 2026-03-29 23:14 by Evan_Liu
[考研] 08工科求调剂286 +3 tgs_001 2026-03-28 3/150 2026-03-29 18:29 by 1018329917
[考研] 289求调剂 +5 BrightLL 2026-03-29 5/250 2026-03-29 17:24 by zhyzzh
[考研] 一志愿郑州大学,080500学硕,总分317分求调剂 +8 举个栗子oi 2026-03-24 9/450 2026-03-29 13:08 by peike
[考研] 352分-085602-一志愿985 +5 海纳百川Ly 2026-03-29 5/250 2026-03-29 09:57 by Sjndkwm
[考研] 0856求调剂 +13 zhn03 2026-03-25 14/700 2026-03-29 08:13 by fmesaito
[考研] 330分求调剂 +5 qzenlc 2026-03-29 5/250 2026-03-29 07:37 by 无际的草原
[考研] 生物学学硕,一志愿湖南大学,初试成绩338 +6 YYYYYNNNNN 2026-03-26 7/350 2026-03-28 20:52 by 唐沐儿
[考研] 0856,材料与化工321分求调剂 +12 大馋小子 2026-03-27 13/650 2026-03-28 10:56 by self2008
[考研] 295求调剂 +5 1428151015 2026-03-27 6/300 2026-03-28 04:04 by fmesaito
[考研] 285求调剂 +4 AZMK 2026-03-27 7/350 2026-03-27 20:59 by AZMK
[考研] 085601 材料工程 313分 求调剂 +5 Ong3 2026-03-27 5/250 2026-03-27 12:24 by goldfish51
[考研] 298调剂 +3 jiyingjie123 2026-03-27 3/150 2026-03-27 11:57 by wxiongid
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +4 崔wj 2026-03-26 4/200 2026-03-27 08:04 by chemisry
[考研] 打过很多竞赛,085406控制工程300分,求调剂 +3 askeladz 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:08 by 给你你注意休息
[考研] 309求调剂 +4 gajsj 2026-03-25 5/250 2026-03-26 00:27 by Dyhoer
[考研] 26考研-291分-厦门大学(085601)-柔性电子学院材料工程专业求调剂 +3 min3 2026-03-24 4/200 2026-03-25 18:22 by xcjcqu
[有机交流] 有机合成求助 20+3 FENGSHUJEI 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:31 by 88817753
[考研] 求调剂 +6 研研,接电话 2026-03-24 7/350 2026-03-24 17:01 by barlinike
信息提示
请填处理意见