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求助最小线宽6um，最小间隔2um，用什么工艺比较好？ 已有4人参与
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| 需要做um结构阵列，最小线宽6um，最小间隔2um，一般用什么工艺比较好？光刻还是电子束曝光？都需要掩膜板吗，掩膜板怎么做？花费怎么样？求各路大神解答 |
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