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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 计算模拟 » 什么软件可以模拟薄膜沉积，以及薄膜沉积的特点！
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huobianle

铜虫 (初入文坛)

[求助] 什么软件可以模拟薄膜沉积，以及薄膜沉积的特点！ 已有1人参与

现在有什么软件可以用来模拟薄膜沉积的，以及薄膜沉积的特点，最好能帮忙找下有什么文献，我毕业设计用的是SRIM2011，需要找出关于这方面的软件，万分感谢！
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1楼 2012-03-15 21:43:53
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我爱蘅芜君

新虫 (初入文坛)
我也想知道。
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我定会成为那个人。
2楼2014-05-06 08:05:39
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278647873

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

chemkin好像可以，里面有个气相沉积的反应器模型
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3楼2014-05-06 10:31:02
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超能小熊猫

新虫 (初入文坛)
TFCALC可以，但是你要建立膜材的资料库

发自小木虫Android客户端
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4楼2016-10-31 15:37:27
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737号房间

新虫 (小有名气)
楼主 你找到了另外模拟薄膜沉积的软件了吗 另外 你用SRIM模拟什么性质
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5楼2019-05-10 17:53:41
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