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huobianle

铜虫 (初入文坛)

[求助] 什么软件可以模拟薄膜沉积,以及薄膜沉积的特点! 已有1人参与

现在有什么软件可以用来模拟薄膜沉积的,以及薄膜沉积的特点,最好能帮忙找下有什么文献,我毕业设计用的是SRIM2011,需要找出关于这方面的软件,万分感谢!
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278647873

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

chemkin好像可以,里面有个气相沉积的反应器模型
3楼2014-05-06 10:31:02
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超能小熊猫

新虫 (初入文坛)

TFCALC可以,但是你要建立膜材的资料库

发自小木虫Android客户端
4楼2016-10-31 15:37:27
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737号房间

新虫 (小有名气)

楼主 你找到了另外模拟薄膜沉积的软件了吗 另外 你用SRIM模拟什么性质
5楼2019-05-10 17:53:41
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