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yelin890219

铜虫 (初入文坛)

[求助] Ge浓缩过程中的穿透位错

对长在SOI上的SiGe进行浓缩,最后形成的GOI或者SGOI会形成穿透位错,穿透位错是下层SOI穿透上来的还是由于Ge浓缩机理形成的??
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