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Ge浓缩过程中的穿透位错
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yelin890219
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Ge浓缩过程中的穿透位错
对长在SOI上的SiGe进行浓缩,最后形成的GOI或者SGOI会形成穿透位错,穿透位错是下层SOI穿透上来的还是由于Ge浓缩机理形成的??
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1楼
2012-02-29 09:55:24
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