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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 光刻工艺简介
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fkshan

银虫 (正式写手)

[资源] 光刻工艺简介

简明扼要，对初学光刻的人是个不错的选择。贝尔实验室的原著
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  • 附件 1 : An Introduction to Lithography-bk-1983-0219.ch001.pdf
    • 2012-01-13 11:58:02, 1.07 M

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1楼 2012-01-13 11:58:25
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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

顶一下，感谢分享！另外，我想问一下各位，套刻精度与步进扫描是具体是怎么回事？好像这两者很大程度决定光刻机的价格？
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34楼2012-11-21 19:04:59
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berry8812

木虫 (职业作家)

★★★★★ 五星级,优秀推荐

学习一下了，谢谢分享
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3楼2012-01-13 22:07:06
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jinguo7772楼
2012-01-13 14:20   回复  
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hai_bingxu4楼
2012-01-15 08:35   回复  
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wbcui5楼
2012-01-15 12:32   回复  
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xjr8401076楼
2012-01-20 09:43   回复  
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xutao09237楼
2012-02-17 09:23   回复  
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plums_18楼
2012-02-18 11:43   回复  
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含树9楼
2012-02-24 09:34   回复  
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lzb12315010楼
2012-03-12 20:34   回复  
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feixingzhe11楼
2012-03-13 15:55   回复  
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天亮要下雨12楼
2012-03-23 21:00   回复  
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苏杭198613楼
2012-04-02 20:15   回复  
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wuyuefengok14楼
2012-04-04 13:15   回复  
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