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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 光刻工艺简介
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fkshan

银虫 (正式写手)

[资源] 光刻工艺简介

简明扼要，对初学光刻的人是个不错的选择。贝尔实验室的原著
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  • 附件 1 : An Introduction to Lithography-bk-1983-0219.ch001.pdf
    • 2012-01-13 11:58:02, 1.07 M

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1楼2012-01-13 11:58:25
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