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磁控溅射做薄膜失败了吗 已有1人参与
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请问大家一个问题： 我在氧化铝基片上DC溅射Pt，然后用RF磁控溅射做氧化铈的薄膜，然后在氧化铈薄膜上面在溅射Pt。就是想要测量垂直方向的电阻。但是两个Pt电极老是导通的，侧面绝对没有粘上Pt。我觉得是氧化铈薄膜不致密，然后通过改进RF溅射参数，增大膜厚，但是仍然导通。啊啊啊，崩溃了。 请问为什么呀？还可以怎么改进呢？谢谢！ |
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wanhongbing
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22楼2015-04-03 16:43:35
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2楼2011-12-30 19:44:17
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4楼2012-02-02 13:29:06