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关于一篇不同晶向的硅片上刻蚀硅纳米线阵列的文献
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我们老板让我找一篇关于在不同的晶向硅片上刻蚀硅纳米线阵列的文献，据说是JPCC的，作者叫什么张明亮（我也不知道是不是这么写的啦），大概是2008-2009年之间发的，天，我怎么也找不到，请各位大神帮忙啦 [ Last edited by yingli09 on 2012-2-10 at 16:28 ] |
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