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求助~CVD钨表面晶体形貌
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CVD法制备钨涂层~用WF6,基底铜~涂层大概有1MM厚度~SEM观察表面形貌~发现表面都是六角锥状的晶体~俯瞰大小大约30微米左右~高度大概20微米左右~ 不知道这种形貌是因为什么形成的~影响因素是啥~ 看了相关文献~有人做的同样的是四角的而不是六角的~或者提供些相关的文献或者书籍~谢谢大家了~ |
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