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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有什么腐蚀液能腐蚀硅片而不腐蚀硅片表面的SiN掩膜？
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hflyover

铜虫 (初入文坛)

[求助] 有什么腐蚀液能腐蚀硅片而不腐蚀硅片表面的SiN掩膜？ 已有2人参与

我再硅片表面沉积SIN做掩膜，激光打出窗口，打算用腐蚀液从窗口腐蚀Si形成凹坑，目前用碱液可以实现只腐蚀Si而不腐蚀SiN。但是我的硅片是多晶硅，浓的碱液只有抛光作用，效果不是很好。

有没有其他腐蚀液能实现？
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1楼 2011-12-17 21:46:59
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工部侍郎

捐助贵宾 (初入文坛)
HF试下，不过我不敢保证啊，呵呵。
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2275958198
2楼2012-04-03 16:23:55
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maskboy

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

适当比例的混酸腐蚀对多晶硅表面存在抛光作用，碱性溶液对多晶硅的腐蚀是非各向同性腐蚀，你感觉是抛光，应该是晶花的直径大于窗口的直径导致的，碱腐蚀是非抛光腐蚀，如果用酸液腐蚀的话，需要对表面进行特定的加工，从而实现对多晶硅表面的非各向同性腐蚀。
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休息一下吧
3楼2022-10-11 15:44:28
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835257303

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我觉得你找气相刻蚀试试吧，氟化硒气相刻蚀机
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4楼2022-10-24 15:39:32
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