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hflyover

铜虫 (初入文坛)

[求助] 有什么腐蚀液能腐蚀硅片而不腐蚀硅片表面的SiN掩膜? 已有2人参与

我再硅片表面沉积SIN做掩膜,激光打出窗口,打算用腐蚀液从窗口腐蚀Si形成凹坑,目前用碱液可以实现只腐蚀Si而不腐蚀SiN。但是我的硅片是多晶硅,浓的碱液只有抛光作用,效果不是很好。

有没有其他腐蚀液能实现?
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工部侍郎

捐助贵宾 (初入文坛)

HF试下,不过我不敢保证啊,呵呵。
2275958198
2楼2012-04-03 16:23:55
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maskboy

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

适当比例的混酸腐蚀对多晶硅表面存在抛光作用,碱性溶液对多晶硅的腐蚀是非各向同性腐蚀,你感觉是抛光,应该是晶花的直径大于窗口的直径导致的,碱腐蚀是非抛光腐蚀,如果用酸液腐蚀的话,需要对表面进行特定的加工,从而实现对多晶硅表面的非各向同性腐蚀。
休息一下吧
3楼2022-10-11 15:44:28
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835257303

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我觉得你找气相刻蚀试试吧,氟化硒气相刻蚀机
4楼2022-10-24 15:39:32
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