| 查看: 1294 | 回复: 3 | ||
hflyover铜虫 (初入文坛)
|
[求助]
有什么腐蚀液能腐蚀硅片而不腐蚀硅片表面的SiN掩膜？ 已有2人参与
|
|
我再硅片表面沉积SIN做掩膜，激光打出窗口，打算用腐蚀液从窗口腐蚀Si形成凹坑，目前用碱液可以实现只腐蚀Si而不腐蚀SiN。但是我的硅片是多晶硅，浓的碱液只有抛光作用，效果不是很好。 有没有其他腐蚀液能实现？ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有129人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 纯铜焊接接头的金相制备用什么腐蚀液啊，急啊！！
已经有13人回复
- NiAl-5%Cr合金的金相腐蚀液为什么？
已经有7人回复
- 什么样的溶液能腐蚀ZnO而不影响Al2O3？
已经有5人回复
- IF钢用什么金相腐蚀液腐蚀
已经有13人回复
- 测金相组织用的腐蚀液和测晶粒度用的腐蚀液有什么不同
已经有4人回复
- 问下组织中有Nd2Fe14B和 a-Fe选用什么腐蚀液？？
已经有5人回复
- 什么溶液能腐蚀铜但不腐蚀氧化铜？
已经有10人回复
- 化学镀铜膜，铜膜是否容易被氧化或者被腐蚀？如何进行表面处理。
已经有11人回复
- 【求助】用20%NaOH腐蚀硅片怎么这样（有图）
已经有16人回复
- 【求助】粉末冶金铁素体不锈钢用啥子腐蚀液啊？
已经有10人回复
- 【请教】AZ91铸态合金用什么腐蚀液能腐蚀出晶界？
已经有10人回复
2楼2012-04-03 16:23:55
maskboy
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 20.1
- 沙发: 1
- 帖子: 31
- 在线: 18.8小时
- 虫号: 4697520
- 注册: 2016-05-16
- 性别: GG
- 专业: 高分子科学
3楼2022-10-11 15:44:28
4楼2022-10-24 15:39:32
10