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hflyover铜虫 (初入文坛)
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有什么腐蚀液能腐蚀硅片而不腐蚀硅片表面的SiN掩膜？ 已有2人参与
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我再硅片表面沉积SIN做掩膜，激光打出窗口，打算用腐蚀液从窗口腐蚀Si形成凹坑，目前用碱液可以实现只腐蚀Si而不腐蚀SiN。但是我的硅片是多晶硅，浓的碱液只有抛光作用，效果不是很好。 有没有其他腐蚀液能实现？ |
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2楼2012-04-03 16:23:55
maskboy
铁虫 (初入文坛)
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3楼2022-10-11 15:44:28