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XPS刻蚀求厚度
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做了XPS刻蚀测试,刻蚀功率为4kv,刻蚀半径为4mm,引出电流为100uA,使用的是日本岛津的AXIS UTLTRADLD型号仪器,请问这样的条件可以得到刻蚀一定时间的厚度吗 急需!非常感谢 |
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