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kkll1078铁虫 (初入文坛)
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| Mini-TYTAN 3600 Three Stack Horizontal Furnace System. Furnace system has an 18” flat zone and is designed for processing up to 6”/150 mm wafers. System to be configured with 1 tube for Atmospheric and 1 tube for LPCVD processes. Furnace configured as left handed model. Load Station will be in the clean room: furnace section and source cabinet will be in the chase area. Furnace system is based on patented TYTAN design. Furnace system consists of: |
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fanliang1389
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有爱的二哥
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【答案】应助回帖
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爱与雨下(金币+1): 2011-12-15 15:02:43
kkll1078(金币+5, 翻译EPI+1): ★★★很有帮助 多谢赐教 2011-12-22 14:57:16
爱与雨下(金币+1): 2011-12-15 15:02:43
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Mini-TYTAN 3600三垛卧式炉系统 炉式系统据偶一个18''区域，该区域专为处理6”/150mm晶片而设计的。该系统配置两根软管，一个通向外部大气，另一个接LPCVD工序。熔炉配置左旋模式。载入装置需置于在洁净室中：熔炉部分及原料柜则应置于chase area，熔炉系统是基于TYTAN专利而设计的。 翻译的有点水，那个chase area实在是想不明白是什么意思，您具体再看下吧~ |
2楼2011-12-15 12:59:37