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fanliang1389

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爱与雨下(金币+1): 2011-12-15 15:02:43
kkll1078(金币+5, 翻译EPI+1): ★★★很有帮助 多谢赐教 2011-12-22 14:57:16
Mini-TYTAN 3600三垛卧式炉系统
炉式系统据偶一个18''区域,该区域专为处理6”/150mm晶片而设计的。该系统配置两根软管,一个通向外部大气,另一个接LPCVD工序。熔炉配置左旋模式。载入装置需置于在洁净室中:熔炉部分及原料柜则应置于chase area,熔炉系统是基于TYTAN专利而设计的。

翻译的有点水,那个chase area实在是想不明白是什么意思,您具体再看下吧~
2楼2011-12-15 12:59:37
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