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wjfjs2cd铜虫 (初入文坛)
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关于电子束蒸发
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| 电子束蒸发镀ITO，用的是陶瓷靶，不导电的，那么电子打到陶瓷靶上就越积越多了，那堆积的电子最终哪里去了？ |
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qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
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【答案】应助回帖
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电荷积累到一定程度会打弧放电，否则电子束蒸发就无法实现了。 参见： 电荷的积累会发生打弧现象。一种打弧现象是靶面上的微观打弧，即当介质层表面的电荷积累到一定程度，介质层被击穿造成的打弧...... https://www.deproducts.com/newsshow.asp-id=50&big=1 在电子束蒸发镀膜过程中，如果靶材的电阻率过大，在靶材表面集聚大量电荷，从而会引起靶材放电现象.... 总13/49页(论文第8页） https://www.docin.com/p-177413162.html |
2楼2011-12-13 06:01:37
