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wjfjs2cd

铜虫 (初入文坛)

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[求助] 关于电子束蒸发

电子束蒸发镀ITO，用的是陶瓷靶，不导电的，那么电子打到陶瓷靶上就越积越多了，那堆积的电子最终哪里去了？

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1楼 2011-12-12 22:19:18

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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

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【答案】应助回帖

电荷积累到一定程度会打弧放电，否则电子束蒸发就无法实现了。
参见：
电荷的积累会发生打弧现象。一种打弧现象是靶面上的微观打弧，即当介质层表面的电荷积累到一定程度，介质层被击穿造成的打弧......
https://www.deproducts.com/newsshow.asp-id=50&big=1
在电子束蒸发镀膜过程中，如果靶材的电阻率过大，在靶材表面集聚大量电荷，从而会引起靶材放电现象....
总13/49页(论文第8页）
https://www.docin.com/p-177413162.html

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没有困难创造困难也要上网。

2楼2011-12-13 06:01:37

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