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wjfjs2cd

铜虫 (初入文坛)

[求助] 关于电子束蒸发

电子束蒸发镀ITO,用的是陶瓷靶,不导电的,那么电子打到陶瓷靶上就越积越多了,那堆积的电子最终哪里去了?
积极,向上,努力~~~
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

电荷积累到一定程度会打弧放电,否则电子束蒸发就无法实现了。
参见:
电荷的积累会发生打弧现象。一种打弧现象是靶面上的微观打弧,即当介质层表面的电荷积累到一定程度,介质层被击穿造成的打弧......
https://www.deproducts.com/newsshow.asp-id=50&big=1
在电子束蒸发镀膜过程中,如果靶材的电阻率过大,在靶材表面集聚大量电荷,从而会引起靶材放电现象....
总13/49页(论文第8页)
https://www.docin.com/p-177413162.html
没有困难创造困难也要上网。
2楼2011-12-13 06:01:37
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