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wjfjs2cd铜虫 (初入文坛)
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关于电子束蒸发
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| 电子束蒸发镀ITO,用的是陶瓷靶,不导电的,那么电子打到陶瓷靶上就越积越多了,那堆积的电子最终哪里去了? |
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qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
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【答案】应助回帖
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电荷积累到一定程度会打弧放电,否则电子束蒸发就无法实现了。 参见: 电荷的积累会发生打弧现象。一种打弧现象是靶面上的微观打弧,即当介质层表面的电荷积累到一定程度,介质层被击穿造成的打弧...... https://www.deproducts.com/newsshow.asp-id=50&big=1 在电子束蒸发镀膜过程中,如果靶材的电阻率过大,在靶材表面集聚大量电荷,从而会引起靶材放电现象.... 总13/49页(论文第8页) https://www.docin.com/p-177413162.html |

2楼2011-12-13 06:01:37









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